這是一款環(huán)氧類負(fù)性光刻膠。具有對(duì)比度高、分辨率高、粘度高、深寬比高、以及附著性強(qiáng)等特點(diǎn)，廣泛用于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)制造、相關(guān)半導(dǎo)體微電子制造以及其他需要高深寬比的工藝中。